15
kamaytirish kerak. Biroq bu ish texnologiyaning imkoniyatlari, masalan,
fotolitografiyaning hal etish qobiliyati bilan cheklangan chegaragacha
bajarilishi mumkin.
a) b)
1.7-rasm.
Doiraviy (a) va kvadrat (b) shakldagi
yupqa pardali
induktivlik g
ʻaltagi.
Shuning uchun yupqa pardali g
ʻaltaklar 1 sm2 yuzada, odatda,, 19
tadan ko
ʻp boʻlmagan oʻramga ega boʻlib, aylana yoki
kvadrat spiral
shaklida ishlanadi (1.7-a-b rasm).